發表文章(3)

Vol.22 / 技術專文
Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems
廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用
製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外,尚需考量廠務系統之能耗,SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量,透過廠務「能源轉換係數」(Energy Conversion Factor, ...

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Vol.18 / 新象新知
Design and Application of Upward Clean Air Circulation System
上回風潔淨循環系統的設計與應用
傳統FFU-DCC式之潔淨室設計,對於機台本身熱散逸至潔淨室所產生熱對流作用之上升氣流,容易與FFU向下送的潔淨循環氣流相撞後彼此產生干擾,迫使潔淨循環氣流無法達成有效的動量輸送,造成微粒滯留在潔淨室內;利用FDC...

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金筆獎入圍
Vol.14 / 技術專文
Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air
以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響
本研究採用有限體積法,透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析,以一新建廠房相關數據進行模型的建立,同時將鄰近廠區相關數據納入評估,針對該廠區在不同季節條件下,污染物(總...

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