A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...
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