Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...
按讚
0收藏
0點閱 (44)