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Vol.52 / 技術專文
The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane
二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討
二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成,化學式為SiH2Cl2,為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式:氣櫃直...

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