楊中星

楊中星 Jhong-Sing Yang

於南科廠務負責氣體、化學品、研磨液的供應系統，期待未來能持續找到廠務系統更加穩定運轉的方式，也謝謝南科廠務夥伴的指導與包容。

發表文章(2)
2023.12, Vol.52 / 技術專文
The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane
二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討
文 | 楊中星 | 郭冠良 | 台南廠務五部 |
二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成，化學式為SiH2Cl2，為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式：氣櫃直...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
The Fingerprint Database of Chemical PPT Metal Pollution & Improvement
化學品金屬汙染指紋資料庫與改善對策
文 | 楊中星 | 趙培辰 | 黃庭軒 | 羅立偉 | 南科廠務五部 |
由摩爾定律「單位面積電晶體數目每18個月就會增加一倍」可知半導體業界晶圓線寬將日漸縮小。因應電晶體線寬的縮小，黃光、蝕刻等製程要求的化學品純度也越高，從早期「百萬分之一」(Parts Per Million, PP...

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