對建廠而言，通常是優先規劃好生產工廠(FAB)、中央廠務工廠(CUP)及辦公大樓(Office Building)等建築物位置後，才開始著眼於氣體場選址，所以氣體場的規劃須在有限的場地選擇條件下做最佳化的利用。本文...

在晶圓的生產過程中微粒(Particle)會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式40奈米微粒分析儀(Particle Counter)與現行主力65奈米分析儀...

液態氦氣供應系統能兼顧品質、供應來源充足、節能省碳及降低工作Loading等多重功效，本文說明液態氦氣供應系統與氣態氦氣供應系統之差異並對建立長期穩定的氦氣供應系統提出分析，藉此整合採購、廠務風險管理及製程同仁們的...