Machine Engineering Data Analysis Processing Technology
機台工程資料分析預先處理技術
隨著製程微型化演進,任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時,機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測,但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件,當產品有異常...
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