Fab & HPM Area Construction Procedure and Management
廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理
晶圓廠廠房之新建工程中，包含了土建結構、內裝、無塵室、機械、電力、監控、裝修、氣體、化學、純水、廢水等數十項工程，廠房內的管線分佈綿密、工項繁瑣且複雜。若沒有有效的管理方法，就會造成不同系統間的管路干涉、與施作空間...
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