TSMC 廠務季刊

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2021.03, Vol.41 / 技術專文

文 | 吳家榮 | 郭昺辰 | 新廠工程管理部 |

依據歷史地震資料顯示，半導體製程機台受地震影響最嚴重的是爐管機台，晶片也是在爐管機台內損失最嚴重，因此保護爐管機台與爐管機台內的晶片就成為對抗地震的重點目標。本文針對爐管機台隔震工程實務，做了一系列深入的探討，配合國家地...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

文 | 盧宣任 | 十四A 廠工安環保部 |

地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...

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2016.12, Vol.24 / 技術專文

文 | 吳信達 | 陳錦村 | 新廠設計部 |

本文將先簡單介紹地震預警系統的發展歷史及目前的應用層面，然後再詳細說明地震預警系統的理論及種類，並比較各系統硬體及運算邏輯的差異。在讀者已有基本的地震預警知識後，才進入到本文的主題「現地型地震預警系統的設置實務與績...

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