Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing
低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術
本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...
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