Passive EMI Shielding Approach for CDSEM
以被動屏蔽(passive shielding)方式解決CDSEM受低頻磁場干擾之案例
在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論和方法，本期筆者將以在F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場干擾的CD-SEM為例，與大家經驗分享。...
按讚
0收藏
0點閱 (40)