廠務主要工作是依靠三大支柱保養、警報和巡檢來維持工廠穩定運作，隨著製程技術的演進，廠務也需要技術發展來滿足先進製程生產和環境永續的目標，畢竟技術發展是製造業維持競爭力的根本，廠務技術發展的做法可由感測器開發、防禦過...

未來世界要如何達成全面的自動化智慧化，是要如何透過各類感測器多點的建立，進而達成全面對物質環境即時的監測，還有將人類的工作知識程式化置於雲端，再透過網路讓各相關機器彼此自動化的互通運作，而大量減少人為對資訊處理的介...

當今和未來半導體廠是以矽晶圓來生產行動通訊和智慧手機所需的元件為主，但隨著產品對傳輸速度和省能要求日益提高，根據目前的研究擁有極佳的導電導熱和電子遷移率的碳基二維石墨烯材料，可望在未來半導體製程中取代以矽基為主的半...

MRAM 被認為是下世代的記憶體技術的聖杯，應用的原理是靠電子自旋而非電晶體開關的電子數目，MRAM它的優點為存取速度快、密度高、非揮發性，故可取代現今任何記憶體。...

機台作業時會產生電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾，筆者即進行機台磁場強度的衰減距離研究，以便找出機台之間不受電磁波干擾的安全距離。除了實際測量並搭配理論來做擬合，並透過合理的參數來做物理理論擬合的解釋，結果發現機...

在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論和方法，本期筆者將以在F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場干擾的CD-SEM為例，與大家經驗分享。...

今日消費性的科技產品隨著輕薄短小及節能減碳的要求，使得半導體的製程越縮越小，已邁入 28nm 的製程量產， 20nm 的製程也正積極的研發中。隨著製程的縮小，電磁波干擾 (EMI) 的問題也慢慢浮現，其中以極低頻磁...