Automatic Material Handling System Design for GIGA FAB Cross Phase Bridge
超大晶圓廠間的自動晶圓傳輸橋接設計
台積電在卓越製造技術有一重要因素即為導入超大晶圓廠 (GIGA FAB) 概念，而跨接橋樑 (Cross Phase Bridge) 的設計則確保超大晶圓廠運作的成功。本文主在說明一個跨接橋的設計需考慮何因素，並利...
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