首頁 / 分期閱讀 / Vol.45 綠色製造及智能技術應用
2022.3
Green manufacturing and
intelligent technology application
綠色製造及智能技術應用
Vol.45 / 技術專文
Hollow Fiber-based TOC Filter
中空纖維TOC濾網 - AMC濾網設備化的新紀元
針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求,既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足,極短的時...

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editor’s column 編者的話

歐人華 | 年度維修專案 APM

本期季刊內容係以「綠色製造及智能技術應用」為主題,總共網羅17篇精彩的文章,希望透過一系列專文,與讀者分享竹科、中科、南科、亞太及新工等廠務機械團隊的運轉經驗與空污、環保、節能與AI智能運用的解決方案。 在綠色製造方面,共有9篇與空污、環保與節能相關的文章,探討包括VOC及Local Scrubber處理效率改善、煙囪有害空氣污染物減量研究、空污煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升,亦針對運轉超過30年的晶圓廠,如何透過標竿學習,在空間有限的條件下,再造友善環境。在智能技術應用方面,共有6篇與AI智能技術、機械學習及IOT技術應用相關的文章,探討包括深度學習技術進行CCTV影像工安辨識、機械學習診斷冰機冷媒系統方法、IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布等應用;另外,本期亦有2篇文章探討新技術應用,包括濕式靜電集塵技術(Wet-EP)及中空纖微TOC濾網應用,值得所有讀者閱讀與參考。 透過上述文章的發表,除喚起大家對空污減量及節能減碳議題的重視外,進一步省思如何應用AI智能技術對高科技產業在工地安全維護研究探討,需大家共同面對並展開具體行動,也預期上述議題將成為引領產業創新的重要課題。

創辦人 Founder

莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com

發行人 Publisher

陳鏘澤 Tony Chen

總編輯 Editor in Chief

范恩祖 E.T. Fan | etfan@tsmc.com

本期主編 Editor

歐人華 J.H. Ou

美術主編 Art Director

孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com

編輯顧問 Editorial Advisory

陳鏘澤 Tony Chen / 薛仁猷 J.Y. Hsueh / 洪永迪 Eddy Hung / 陳勇龍 YungLong Chen / 丁瑞華 Howard Ting / 江世雄 S.H. Chiang / 

編輯委員Editorial Board Members

楊水定 S.D. Yang / 彭成義 Jimmy Peng / 康智翔 Z.H. Kang / 趙世閔 Shih-Min Chao / 莊哲嘉 Che-Chia Chuang / 古義榔 Y.L Ku / 廖禹奕 Yu-Yi Liao / 李宗儒 Shaum Lee / 蔣昌仁 C.J. Chiang / 林文榮 W.R. Lin / 藍家斌 C.P. Lan / 李坤璋 Quincy Li / 王恆杰 H.C. Wang / 吳孝修 Shiau-Shiou Wu / 干成果 C.G. Gan / 于淳 Chwen Yu