TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

文 | 曹志明 | 廠務技術發展部 |

針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求，既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足，極短的時...

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2016.6, Vol.22 / 新象新知

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 曹志明 | 十五廠六期新建工程專案 | 劉邦昱 | 華懋科技股份有限公司 |

目前公司廠內所使用的有機廢氣處理，採用沸石濃縮後再以高熱進行焚化，並且利用熱回收，將燃燒後的廢熱透過熱交換提高燃燒前的廢氣溫度；而隨著節能的目標不斷提升，燃燒所消耗的燃料量也漸漸受到重視，以熱再生技術取代熱回收技術...

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2015.6, Vol.18 / 新象新知

文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 徐明甫 | 新廠設計部 | 胡石政 | 國立台北科技大學潔淨技術中心 |

傳統FFU-DCC式之潔淨室設計，對於機台本身熱散逸至潔淨室所產生熱對流作用之上升氣流，容易與FFU向下送的潔淨循環氣流相撞後彼此產生干擾，迫使潔淨循環氣流無法達成有效的動量輸送，造成微粒滯留在潔淨室內；利用FDC...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 康智翔 | 十二廠廠務一部 | 陳庭鈞 | 十二廠廠務一部 |

為同時達成潔淨室外氣空調箱加濕以及淨化外氣，並延長高效過濾器以及化學過濾器的壽命，水洗加濕器已成為外氣空調箱的標準配備。傳統的水洗加濕器大多藉由加壓循環泵輸送洗滌水，直接吸收來自外界的固態微粒及氣態汙染物，然而考量...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 黃正吉 | 製造技術中心 | 周政隆 | 新廠設計部 |

一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物(實驗或計算)，再觀察汙染源擴散的情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室，通常我們只能觀測到結果，而無法得悉汙染物由何處而來，若擬求...

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