RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...
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