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Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主,因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題,而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中,氨氣皆佔有一定排放量比例,而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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Vol.30 / 技術專文
The Study for Enhancement in the Removal Efficiency of Central Scrubber with Bubble Tower
罩泡塔應用於立式洗滌塔處理效率改善研究與探討
半導體廠內洗滌塔為主要空氣污染物去除設備,但半導體廠有酸鹼混排問題,且氨氣佔年總排放量相對高,酸排氨氣主要來源為酸槽機台,在鹼洗酸性排氣洗滌塔中去除效率不佳。因此本文的目的在於探討改善既有立式洗滌塔的廢氣處理效率,...

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