Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and filter efficiency detection mechanism
AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制
半導體產業按照摩爾定律蓬勃發展,對於無塵室內的溫溼度、氣態分子汙染物等生產環境品質的控管越趨嚴格,影響著製程區域產品良率。廠務端以自動分析儀器對環境進行AMC定點監控已成為各廠標準模式,並輔以人力至現場巡檢。本篇為加強黃...
按讚
0收藏
0點閱 (32)