發表文章(2)

Vol.39 / 技術專文
Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and filter efficiency detection mechanism
AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制
半導體產業按照摩爾定律蓬勃發展,對於無塵室內的溫溼度、氣態分子汙染物等生產環境品質的控管越趨嚴格,影響著製程區域產品良率。廠務端以自動分析儀器對環境進行AMC定點監控已成為各廠標準模式,並輔以人力至現場巡檢。本篇為加強黃...

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Vol.35 / 新象新知
Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control
自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測
半導體產業蓬勃發展,因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格,現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控,並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

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