發表文章(1)

Vol.36 / 技術專文
Founding and Application of Advanced Chemical Supply System Data
先進化學供應系統基礎數據建立與應用探討
科技不斷進步,資訊串流、大數據分析等應用已成為先進半導體廠重要技術指標之一,雖然廠務供應系統已有完整網域監控架構,但運轉資訊往往因為設備系統商不同,造成監控網域各自平行運作,本研究以OPC server整合多家通訊協定,...

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