發表文章(2)

Vol.36 / 技術專文
Founding and Application of Advanced Chemical Supply System Data
先進化學供應系統基礎數據建立與應用探討
科技不斷進步,資訊串流、大數據分析等應用已成為先進半導體廠重要技術指標之一,雖然廠務供應系統已有完整網域監控架構,但運轉資訊往往因為設備系統商不同,造成監控網域各自平行運作,本研究以OPC server整合多家通訊協定,...

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Vol.23 / 技術專文
Revelation of FN-DP001 Negative Developer for Facility Supply System
醋酸丁酯負顯影劑廠務供酸系統大解密
因FN-DP001(主成分醋酸丁酯)本身電阻率高,於輸送過程中經過閥件、管路、泵浦、過濾介質等,發生磨擦後極易產生靜電,近期陸續發生化學品供應系統因FN-DP001輸送時,因靜電累積且無導除媒介,而導致擊穿閥件及管...

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