發表文章(2)

Vol.48 / 技術專文
Transfer Waste High Concentration HF to A Highly Value Product, Cryolite
點氟成晶-廢氫氟酸轉製成正價值冰晶石
廠務持續推動循環經濟,致力將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品,隨著先進製程的演進(N7~),需蝕刻及清潔的次數增加,導致氫氟酸需求量大幅上升,也增加了氫氟酸的廢液量,預估2025年將達6,927噸/月,佔全...

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Vol.44 / 技術專文
Decreasing COD concentration of effluent by increasing efficiency of Bio-System
實現綠色製造-增進生物系統處理效率達到放流COD減量
隨著半導體製程的精進,晶圓製程用於防倒線及除水痕異丙醇(IPA)的使用量逐漸上升,N7世代IPA使用量已為N16世代之6倍,在已可觸及的N2世代,IPA用量更可達N16之16倍。對於放流水中化學需氧量濃度,如何能低...

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