Air pollution Improvement-As Emission Reduction Analysis
空污改善-煙道有害空氣污染物-砷及其化合物減量研究
因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。
解析F14B歷年煙囪檢測砷...
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