2016年12月通過環保署第306次環評大會審查，中科空氣污染減量、符合總量管制之承諾。隨著台積製程演進與產能需求的增加，為了符合最關鍵的空污總量管制，對於空污的改善是持續演進，廠務處集合新廠設計部、ISEP眾多專...

近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

外氣空調箱（Make-up Air Unit, 以下簡稱MAU）是提供潔淨空氣至無塵室，做為無塵室的濕度調整及減低室外空氣AMC濃度的重要設備，其中外氣水洗系統（Air Washer System）更是關鍵性設備，...