發表文章(4)

Vol.40 / 技術專文
ASRS+DHL installation/commissioning/Operational experience
化學品自動化倉儲與高速物流系統建造與運轉實務
長久以來,半導體桶裝化學品倉儲停留在傳統倉儲,大量的人工搬運作業不僅速度慢,化學品傾倒風險也高。惟半導體廠皆是24小時運轉,無法長時間停止產線進行系統升級和連續運轉測試,既有運轉廠區轉型升級成自動化倉儲,卻往往因為空間、...

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Vol.30 / 技術專文
Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction
高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用
近年來PM2.5超過空氣品質標準,環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費,因應粒狀污染物減量趨勢,各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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Vol.26 / 技術專文
Air Pollution Control Strategy for Next Generation Fab
新世代廠房的空氣汙染防制
台積公司最新世代的晶圓廠房座落於中科擴建區,為因應日益嚴峻的環保法規及民眾對環境品質要求提升的期望,新廠在空氣汙染防治部分,導入最先進的技術與設備,包括:中央洗滌塔水力薄膜、排放源導入現址型洗滌塔、水霧系統及HEP...

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Vol.26 / 技術專文
On-line IC Monitor System for AAS Chimney
煙囪連續監測系統技術探討
本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的,探討此系統與手動採樣方法的優缺點,並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現,無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動,可見本採樣系統能及時的反應...

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