張貴琳

張貴琳 Bruce Chang

中興大學機械系研究所畢業。
F12P12 MSS工程師；F12P6/P7/P45 MSS section manager。

發表文章(2)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
文 | 陳建豪 | 新竹廠務四部 | 詹資盛 | 新竹廠務六部 | 張貴琳 | 新竹廠務四部 |
隨著半導體製程的演進，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著，並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough
預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破
文 | 郭勝欽 | 張貴琳 | 竹科廠務三部 |
本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...

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