Visual Management for AMC Concentration Map
AMC濃度分布圖之視覺化管理
半導體製程之快速演進,氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination, AMC) 對於半導體廠的製程良率具有顯著影響,普遍於機台清潔與晶圓清洗製程或自廠排放及外氣蓄積進入FAB,造成環境...
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