發表文章(2)

Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗,評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

按讚

0

收藏

0
點閱 (338)
Vol.32 / 技術專文
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中,此類發火性物質大部份兼具禁水特性,於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範,針對使用發火...

按讚

0

收藏

0
點閱 (236)