隨著半導體精密製程快速演進，機台製程排氣酸鹼分流亦越來越困難而造成酸鹼混排處理不當，使產生排氣煙囪冒白煙的情況越來越容易發生。本文將針對各世代製程排氣處理對於洗滌塔設計的發展沿革進行探討說明，並以既設廠區設計搭配原...