發表文章(2)

Vol.45 / 技術專文
The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring
煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用
於廠務運轉,各項污染物減量改善也隨之展開,如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量,煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中,選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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Vol.15 / 技術專文
Procedure Optimization for HPM External Ducts Construction
HPM外部管路區施工工序最佳化探討
半導體晶圓代工業競爭日趨激烈,除了高良率的要求外,是否具有足夠產能以隨時滿足客戶的需求亦是競爭力的重要關鍵。在新建廠房的施工過程中,工程施作的品質與工期進度的快慢對於新廠房何時可投入生產影響甚大,唯有以最佳工序工法...

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