趙世閔

趙世閔 Shih-Min Chao

追求零排放的態度，每日兢兢業業往前。

發表文章(2)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring
煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用
文 | 溫閎元 | 亞太廠務處 | 錢立行 | 新竹廠務四部 | 趙世閔 | 新竹廠務四部 |
於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

按讚

0

收藏

0
點閱 (44)
2016.6, Vol.22 / 技術專文
Micro Contamination Prevention -Application of IPA Reduction in F12P6 ECP Area
微污染防治 - 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討
文 | 趙世閔 | 李懷宇 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |
隨著半導體製程快速演進，氣態分子汙染物(AMC)對於半導體廠的製程良率有顯著影響，異丙醇(IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與製程內晶圓清洗，已有許多案例證實IPA對於電化學電鍍（ECP）製程之晶邊良率具有極大...

按讚

0

收藏

0
點閱 (76)