UPW Future Trend: Functional Water
機能水的應用
本文主要介紹目前及未來機台超純水可能使用的走向，機能水的應用及原理，機能水可增加去除效率及減少化學品的耗量，如O3 +DIW，去除有機物(取代SPM功能)，CO2+DIW，防止帶電，增加微粒子去除效率&hellip...
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