TSMC 廠務季刊

2020.12, Vol.40 / 新象新知

文 | 黃介然 | 王義信 | 新廠設計部 |

半導體先進製程不斷提升下，面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

文 | 翁儷瑜 | 張育正 | 王義信 | 新廠設計部氣體及化學工程課 |

化學機械研磨(CMP)製程是半導體製程中達到全面平坦化(global planarization)的主要關鍵技術。影響化學機械平坦化的因子包含可調節、可稀釋的研磨液(slurry)，以及相匹配的研磨墊(pad)，轉速，下...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

本文主要介紹目前及未來機台超純水可能使用的走向，機能水的應用及原理，機能水可增加去除效率及減少化學品的耗量，如O3 +DIW，去除有機物(取代SPM功能)，CO2+DIW，防止帶電，增加微粒子去除效率&hellip...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

文 | 王義信 | 李玫 | 設計營建部 |

Heat pump乃是利用卡諾循環 (Carnot cycle)設計的一種熱機，而"熱泵"是由英文 Heatpump 翻譯而來，熱泵壓縮機利用吸收環境的熱能，不需燃燒，不產生二氧化碳及廢熱氣，可...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

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