發表文章(2)

Vol.31 / 技術專文
A Study of Ultrapure Water Nanoparticle Detection Technologies
談超純水 奈米顆粒偵測技術
對於液體中顆粒數量之檢測,現今大都以雷射散射法作為判斷依據,受限於光學繞射極限,要偵測到 20nm 以下之奈米顆粒有很高難度,特別是在液體中顆粒數量稀薄的狀況下,如超純水;同時,超純水的奈米顆粒潔淨度又與半導體製程...

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Vol.18 / 新象新知
Membrane Filtration Capability Evaluation Method Establishment & Development and Application of Inorganic Membranes for Nanoparticle Removal
薄膜過濾功能鑑別方法建立及無機薄膜於奈米顆粒去除之開發與應用
本文說明建立金粒子搭配ICP-MS 分析之粒子阻擋法作為薄膜過濾功能之鑑別方法,此法最大優點為突破光學顆粒計數器(OPC) 分析之限制(20~50nm)。以此法檢驗本文開發之無機濾膜整體去除效率可達99.9%,顯著...

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