A Study of Ultrapure Water Nanoparticle Detection Technologies
談超純水 奈米顆粒偵測技術
對於液體中顆粒數量之檢測,現今大都以雷射散射法作為判斷依據,受限於光學繞射極限,要偵測到 20nm 以下之奈米顆粒有很高難度,特別是在液體中顆粒數量稀薄的狀況下,如超純水;同時,超純水的奈米顆粒潔淨度又與半導體製程...
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