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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Burn Type Local Scrubber Decrease NOx Emission
現址式燃燒洗滌塔NOx減量
文 | 江昱慶 | 台南廠務八部 |
目前廠內現址式燃燒洗滌塔(Burn Type Local Scrubber)主要處理全氟化合物(PFC)，因其處理溫度較高，容易產生副產物-NOx，本文將以降低處理溫度及減少反應物兩方面探討，在符合廠內破壞去除效率...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber
燃燒水洗式洗滌塔 操作參數與副產物探討
文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |
製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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