楊孟堯

楊孟堯 Nick Yang

中山大學電機系畢業，於台積電服務 22 年，曾任六廠儀電課、十四 A 廠機械課、現任十四 B 廠機械課副理。

發表文章(2)
2019.9, Vol.35 / 技術專文
Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Stack in Semiconductor Industry
半導體業煙道硫酸排放減量策略
文 | 楊孟堯 | 楊映茹 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |
在12吋晶圓廠中隨著產能不斷提升，排氣風量與硫酸使用量增加，硫酸排放總量逐漸受到主管機關的重視。以最新12吋晶圓廠為例，使用硫酸的最大來源是高溫硫酸製程機台及廠務桶槽，參考文獻研究顯示處理廢氣入口濃度越高洗滌塔處理...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber
燃燒水洗式洗滌塔 操作參數與副產物探討
文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |
製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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