Vol.48 / 技術專文
Chloride Sources and Reduction Strategies in Semiconductor Effluent Wastewater
半導體排放廢水氯化物來源與削減策略
隨著國內半導體、光伏企業的快速發展,對純水的需求量與含氟廢水的處理量也大幅增加,由於大多企業使用鹽酸再生樹脂,氯化鈣處理含氟廢水,隨之而來廢水排放中氯離子濃度也居高不下。隨著環保法規日趨嚴格,對水中氯化物的濃度也有了明確...

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Vol.44 / 技術專文
Enhancement of Parts Replacement of Corrosive Gas-Control Ambient Humidity to Solve Corrosion Issue
腐蝕性特氣元件PM精進-控制環境濕度,解決元件更換腐蝕問題
腐蝕性特殊氣體(特氣)為半導體產業中常見的化學品,其在更換特氣元件的過程易與空氣中水氣產生酸性的腐蝕化合物,造成人體或設備元件有接觸腐蝕及不純物汙染的風險。本研究以更換氯氣(Cl2)氣體分配箱...

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