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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
文 | 黃柏勛 | 林永璋 | 新廠設計部 |
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...

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