The Study of Water Hammer Effect on Process Cooling Water Improvement in High Flow Tool
大用水量機台之水槌效應於製程冷卻水之研究改善
製程冷卻水（PCW）用途為供應製程冷卻水，將製程機台所產生的熱量透過熱交換方式帶走。本文將探討如何改善高用水量機台觸發緊急停止(EMO,Emergency Off)時，對PCW系統產生水錘效應與供應溫度變化的影響。...
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