TSMC 廠務季刊

2017.6, Vol.26 / 技術專文

文 | 林宗標 | 江維捷 | 林意雄 | 南科廠務一部 |

有害空氣污染物包括VOCs、多環芳香烴化合物、重金屬及戴奧辛等。有害空氣污染物污染來源繁雜，其中多數可經過接觸、呼吸等方式危害國民健康安全。職業安全衛生與動物實驗均顯示，有害空氣污染物對人類具有致癌性、致突變性與致...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

文 | 洪民翰 | 南科廠務四部 | 鍾善昌 | 南科廠務一部 |

南科十四廠五期於2012年5月開始投入量產，隨著新製程開發也衍生出前所未見的問題與挑戰，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出煙道排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾，既有的廢氣濕式洗滌塔與水渦流機已無法妥善處理白煙以及...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

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2017.6, Vol.26 / 新象新知

文 | 楊詠翔 | 南科廠務四部 |

靜電集塵器具備高處理效率、高可靠度、低壓力損失、低耗能、無壓力波動、可連續運轉的特點。因此，靜電集塵器廣泛地被一般工業界所應用在改善空氣污染排放。然而，傳統乾式靜電集塵器有以下問題：粉塵沉積於集塵板表面與極線上造成...

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