Vol.44 / 技術專文
Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical supply system
舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務
本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步,並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方案,老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善...

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Vol.36 / 技術專文
Method and Practice of Chemical Dispense Unit Control System Upgrade without Supply Interruption
化學供應系統之控制單元執行不中斷供應的升級方法與實務
隨著半導體製程由N4X演變至N3,廠務化學品供應系統(CDU)也須同步進化,但在2008年建立之舊式化學品供應系統設計已不符現況,且系統供應商部門解散,造成廠務進化的腳步停滯,必須研擬出新的方法突破現況,以符合N3之先進...

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