FAB6 UPW Degassing system retrofit-challenge and experience sharing
FAB6 純水脫氣系統架構升級-翻新挑戰與經驗分享
超純水系統在面對「如何達成系統穩定供應」的製程挑戰時，舊廠區首要面對的就是真空脫氣單元的翻新，在評比了早期設計的真空脫氣系統(VDG)以及新設廠區慣用的薄膜脫氣系統(MDG)的優缺點後，我們可以得知在晶圓廠的運轉需...
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