Vol.38 / 技術專文
PM management system for facility stable operation
廠務穩定運轉之PM管理系統
半導體製造業需要穩定與高品質的供應系統,因此廠務設施穩定運轉就是其中的關鍵,其系統單元據有多元性與複雜性,然而這麼龐大與多元系統設備要如何平時做好維修保養管理,並提供穩定的Utility給晶圓生產製造將是一大考驗。 本文...

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Vol.17 / 技術專文
Database Enhancement of the Tools Utility Requirement for New Fab Project
新建工程機台需求之資料庫進階強化計畫
新廠的設計,是依製程生產機台的需求(Tools Utility Requirement)及位置(Layout)進行各種廠務供應系統之設置與規劃;本篇將闡述藉由 IDI (Initial Design Integra...

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Vol.13 / 技術專文
Initial Design Integration Enhancement for New Fab Planning Application
新廠規劃的前導者 - IDI系統再進化
新建廠房於規劃設計時,必須依據生產機台的需求 (Tools Utility Requirement) 進行各種廠務供應系統規劃與建造,各系統容量規劃及管路配置長度是影響建廠成本的關鍵因素;本篇將闡述建立生產機台需求...

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