Vol.31 / 技術專文
Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
廢水外排不鈷息: 先進製程廢水全鈷回收
鈷被大量應用於晶圓先進製程,而其產生之含鈷廢水造成的重金屬汙染對於環境有很大衝擊,需要一個妥善處理含鈷廢水方法,將處理後含鈷有害廢棄物轉換為有價的金屬資源回收,並減少避免處理過程中的衍生環境汙染風險。本篇研究以螯合...

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Vol.23 / 技術專文
Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system
含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享
含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水,其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤,發現其水質特性為高氧化性、低導電度,總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...

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