Vol.52 / 技術專文
Innovative management strategies for water systems in the new generation of manufacturing processes
新世代製程之水系統創新管理對策
本文累積過往新成廠經驗,水處理系統在這些過程中遇過許多挫折但也因這些經驗,逐步強化水處理系統防禦機制,發展出一套管理方法,面對快速成廠的過程中,面臨系統尚未完成建置,需逐步與設備協調其純水與化學品洗淨的總量管制,在...

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Vol.48 / 技術專文
Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up
因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法
近年新廠快速擴展,於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06),平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊,整體工期需較以往縮減6~9個月,主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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Vol.33 / 技術專文
The Development Roadmap of Environmental Facility for Advanced Semiconductor Operations
先進半導體廠房環保設施發展藍圖
本研究旨在探討未來先進半導體廠房環保設施發展藍圖,先從文獻回顧過去世界半導體業的環保設施發展方向,從中汲取未來可能需持續改善的重點。再從檢討目前半導體廠房在空氣及放流水的防治方法,伴隨製程發展的演進及環保法令要求趨...

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