Vol.48 / 技術專文
Chemical supply system upgrade-The challenge of engineering under uninterrupted
化學供應系統架構升級-生產供應不中斷之困難與挑戰
化學供應系統歷經多年的演進及改善,於新廠區已呈現相對穩定的運轉狀態。但反觀老廠之化學供應網絡及控制器已明顯跟不上世代,不斷的在老舊系統上進行小規模的CIT改善只能說是治標不治本,如何將供應網絡全面更新及控制器升級才是長遠...

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Vol.33 / 技術專文
Operation Strategy of Gas and Chemical Supply Systems for Converting Advanced R&D Processes into Mass Production Fab
因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統運轉策略
本研究使用目前業界廣泛應用於製造流程分析的 IDEF0 建模方式,在半導體研發製程轉大量生產過渡期間,將氣體與化學供應系統運轉方式,分為三個主要階段及五個次要程序。根據最新廠區運轉經驗及結合各廠區相關專業同仁的意見...

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