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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Slurry Quality defense-SDS On-type Drum IQC
品質把關-化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗
文 | 孫聖哲 | 新竹廠務六部 |
化學研磨供應系統的原液直供型系統對於原物料品質監控的防禦機制不足，當物料異常時只能在供應桶槽量測時才能發現，但此時已經供應至機台端造成線上影響。故本篇對原液直供型系統以現有系統架構新增原物料桶品質量測機制，當原物料...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Optimization of Hydrogen Peroxide Concentration Measurement in Slurry Supply System
化學研磨液供應系統H2O2濃度測量優化
文 | 潘明楷 | 台中廠務二部 |
本篇文章介紹氣化系統在面對新世代製程的需求下，對化學研磨液線上雙氧水濃度測量穩定性的改善。文章針對自動滴定儀(ATRS)的三大儀器架構進行改良，包括取樣元件、滴定元件和反應槽各自的缺點。
經過實驗討論...

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