Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management
廠務系統穩定運轉–可靠度管理
廠務系統為穩定運轉,而設計為熱備援模式穩定供應,廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外,也要求即時運轉在熱備援模式,以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應;為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求,因此系統可...

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Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
警報管理為廠務運轉的基石,如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時,值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
隨著半導體製程的演進,製程所需的化學品用量也隨之大增,造成原物料與廢液的產出也大增,因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題;廠務系統係Central供應Fab使用,如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...

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