Vol.20 / 技術專文
The Intelligent Exhaust Pollution Control System - TSMC F14P3
廚房廢氣處理系統智慧化研究 - 以十四廠三期為例
將ICT技術導入台積電F14P3辦公室的廚房廢氣處理系統中;藉由感測器(pH/ORP計及導電度計)的裝設,來改善目前必須巡檢才能得知系統運轉狀況及無法判斷系統處理效率的問題;將感測器所感測到的數據傳回BAS,與內建...

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Vol.03 / 技術專文
Exhaust Monitoring System Study and Design
廠務排氣監控系統探討與設計
AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統,必須考量許多因素以符合各項運轉需求,如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等,故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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