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2024.03, Vol.53 / 技術專文
The Net-Zero Development Roadmap of TSMC
台積公司淨零發展方向
文 | 張智能 | 新竹廠務七部 |
因應氣候變遷是企業永續經營的責任，身為全球最大的半導體技術與產能提供者，台積公司承諾民國139年達到淨零排放並規畫淨零藍圖，民國114年起碳排放零成長且逐步下降，民國119年碳排放回到民國109年排放水準，民國139年含...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文
New Challenges of Exhaust Reduction - EPI Dual ACP Exhaust Reduction Project
排氣減量新挑戰 - 雙磊晶反應室機台排氣
文 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |
磊晶機台共分成Main Chamber和氣櫃（Gas Box）兩個箱體，彼此互通，每個箱體上方銜接6吋的排氣風管，調整前兩支風管總抽風量為1248CMH，另外還有兩個預潔淨反應室（SiCoNi），各接6吋的排氣風管...

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