The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation
iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新
Local Scrubber欲達成有效節能運轉成效，其先決條件是確保其製程尾氣處理效能可達到良好水準。iSystem藉由確認製程機台所使用的製程氣體，並依據定義該製程氣體於Local Scrubber處理的方式，即時依據...
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